主要内容~电子产品与微电子制造>三维电子封装技术>层间互连技术>高密度键合互连技术上海应用技术学院

ⅱ目錄第三章微影照像設備3.1緒論…593.2微影照像的方式…603.3主要支援設備和難題…683.4光罩對準儀實例……733.5步進照像機實例…803.6進步的照像設備………873.7參考書目……1043.8習題……1...

4.1半导体单晶的制造单晶治炼和晶圆制造过程蒸馏与还原起始材料多晶半导体石英岩（高纯硅砂）Si/SiO2晶体生长研磨、切割、地光晶棒晶圆单晶半导体晶锭制造硅的起始材料是一种被称为石英岩的高纯...

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从“沙子”到“黄金”一一图解芯片制作工艺流程sa新浪科技ntel Activeinter第一步：制造晶棒（也就是硅锭）VirtualizabionTechnologyinteD将收集到的精度硅原料在高温下整形，采用旋转拉CNROF伸...

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