ⅱ目錄第三章微影照像設備3.1緒論…593.2微影照像的方式…603.3主要支援設備和難題…683.4光罩對準儀實例……733.5步進照像機實例…803.6進步的照像設備………873.7參考書目……1043.8習題……1...

半导体制造技术Semiconductor Manufacturing Technology本书旨在介绍半导体集成电路产业中最新的工具和技术，以便提高读者在工作过程中理解与使用相同或类似工具的能力。全书在细节上覆盖了用于...

一、什么是集成电路？a》

LED◆外观·检测.DIE印制印刷晶圆·定位扩晶定位检测·字符识别料带bonding·检测切割•其他固晶贴装。封装包装◆·封装管脚检测其它和测量■·裸板AOI·定位、测ICPCB原料塑料制版·印刷量金属...

目录·第一章：半导体产业介绍·第二章：器件的制造步骤·第三章：晶圆制备第四章：芯片制造·第五章：污染控制·第六章：工艺良品率

中华人民共和国国家标准建设工程文件归档整理规范GB/T50328-2001主编部门：中华人民共和国建设部批准部门：中华人民共和国建设部施行日期：2002年5月1日第2页，共2页

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计划于2005年前，先行完成4条8~12英寸晶圆生产线，以实现年产240万片，产能1.1亿平方英寸的生产目标。以上项目的建设，为硅材料加工行业提供了广阔的市场。以上海规划年产240万片为例，240万片...

§1.1半导体基础知识1.1.1导体、半导体和绝缘体自然界中很容易导电的物质称为导体，金属一般都是导体。有的物质几乎不导电，称为绝缘体，如橡皮、陶瓷、塑料和石英。另有一类物质的导电特性处于...

Process Flow1.Wafer start P-typeP-sub2