Introduction of CMP目录*CMP的发展史*CMP简介*为什么要有CMP制程*CMP的应用米CMP的耗材*CMP Mirra-Mesa机台简况

广东化工2009年第8期88www.gdchem.com第36卷总第196期悬浮磨料的效果。分散剂的作用机理：这些界面活性剂吸附据文献报道，重金属杂质F©会对硅片造成最严重的重于固体颗粒的表面，使凝聚的固体...

通用部分Ⅱ61.Begin-一开始81.Month--月101.WP.-待料62.Oher-其他82.Year-年102.Cycle Time-循环时间63.Setting-设置83.Sensor-传感器103.Material--物料64.Computer-一电脑84.Shuttle-往复装置...

Flow一.大宗氣體供應系統-Bulk Gas Supply System·1.什麼是大宗氣體：一般指用量較大的氣體無色無味無臭，但仍有潛在的危險（部分具室息性）.*CDA(UCCA)/IA-壓縮乾燥空氣/儀器推動空氣/呼吸用...

第一章半导体衬底第二章氧化第三章扩散第四章离子注入第五章光刻第六章刻蚀第七章化学气相沉积第八章化学机械化平坦第九章金属化工艺第十章CMOS工艺流程

Plasma SchematioA partially ionized gascreated by application of anelectric field.Positiveneutralsion/electron pairs areglow(radicals,unreacted gas)Sheathcreated by ionizationdisch...

WAT Introduction1.WAT是什么2.WAT系统介绍3.WAT测试项日及方法

Process Flow1.Wafer start P-typeP-sub2

第8卷第9期电子与封装方式发展.微电子封装将从有封装、少封装向无封装MCM中直接使用裸芯片缩短了用于电路连接方向发展，因此裸芯片封装技术便应运而生。的键合引线长度，使得系统中的通电路径长...

清苇大Tsinghua University§1系统封装半导体器件复杂性和密度的急剧增加推动了更加先进的VLSI封装和互连方式的开发。印刷电路板(printed Circuit Board-PCB)多芯片模块(Multi-.Chip Modules-MC...