半导体气体特性及系统介绍

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THE END
信息技术
# 电子# 半导体
文本预览
Flow一.大宗氣體供應系統-Bulk Gas Supply System·1.什麼是大宗氣體：一般指用量較大的氣體無色無味無臭，但仍有潛在的危險（部分具室息性）.*CDA(UCCA)/IA-壓縮乾燥空氣/儀器推動空氣/呼吸用空氣*HPCDA (HCDA)上-高壓壓縮乾燥空氣*GN2·一般氮氣*PN2·純化氮氣*PHE·純化氨氦氣*PAR·純化氩氣*P02·純化氧氣*PH2·純化氫氣PDF文件使用"pdfFactory Pro”试用版本创建逃凫fineprint.cn
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