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半导体晶圆自动清洗设备
EPE电子工业专用设备Equipment for Electronic Products Manufacturing专题报道·水冲洗,依次去除晶圆表面各杂质。半导体湿法清洗工艺中,常用的清洗腐蚀液见从设备方面,自动清洗设备与手动清...
PVD-Process-introduction-TJ050419
Outline1.IC Typical Schematic2.PVD Technology3.AlCu PVD4.Salicide PVD5.Barrier PVD6.WCVD
半导体晶圆的生产工艺流程介绍
由于硅的硬度非常大,所以在本工序里,采用环状、其内径边缘镶嵌有钻石颗粒的薄片锯片将晶棒切割成一片片薄片。5圆边(Edge Profiling】由于刚切下来的晶片外边缘很锋利,硅单晶又是脆性材料,为...