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电浆化学气相沉积、溅镀与蚀刻-Plasma-CVD--Sputtering-and-Etching---Principles-and-Technology-学行智库

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Plasma SchematioA partially ionized gascreated by application of anelectric field.Positiveneutralsion/electron pairs areglow(radicals,unreacted gas)Sheathcreated by ionizationdisch...
半导体芯片制造技术5-学行智库

半导体芯片制造技术5

第一节氧化法制备二氧化硅膜硅暴露在空气中,即使在室温条件下,在表面也能长成一层有40A左右的二氧化硅膜。这一层氧化膜相当致密,同时又能阻止硅表面继续被氧原子所氧化,而且还具有极稳定的...
集成电路封装与测试-第一章-学行智库

集成电路封装与测试-第一章

参考书籍《集成电路芯片封装技术》李可为著,电子工业出版社出版《微电子器件封装-封装材料与封装技术》周良知著,化学工业出版社出版■相关的文献
半导体工业简介-简体中文..-学行智库

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课程大纲1.叙述目前半导体工业的经济规模与工业基础。2.说明IC结构,并且列出5个积体年代。3.讨论品圆及制造晶圆的5个主要阶段。4.叙述与讨论晶圆制造的改进技术之3项重要趋势。5.说明临界尺寸(...
图形芯片设计全过程-学行智库

图形芯片设计全过程

件设计语言(DL)一般的人都基本上不会接触到,我们在这里只给大家简略的介绍一下:在程序代码的形式上DL和C也没有太大的不同,但他们的实际功能是完全的不同。比如下面这个Verilog语言中非常基本...
一种基于MEMS技术的压力传感器芯片设计-王大军-学行智库

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膜片最好,方形次之9.由于方形几何形状对称,很的表面,掺杂浓度不仅影响压阻系数值,而且还影响容易进行晶体切割,且有研究表明在固定面积下,弹压阻系数随温度变化的剧烈程度.当扩散电阻表面...
半导体名词缩写索引表[1]-学行智库

半导体名词缩写索引表[1]

DFDiffusion扩散组织名称FABDIWDe-ionized Water去离子水水处理系统FACDLDirect Line直接员工DODissolved Oxygen溶解氧水处理系统FACDUVDeep ultraviolet深紫外线PHDynamicUninterruptablePower...
芯片设计实现介绍-学行智库

芯片设计实现介绍

CEC中国电子|大华大电子微电子技术。20世纪最伟大的技术·信息产业最重要的技术进步最快的技术基尔比Jack Kilby)的第一个安置在半导体锗片上的电路取得了成功-“相移振荡器”,世界上第一块集成...
单晶硅设备工艺流程-学行智库

单晶硅设备工艺流程

目录*1.硅料的提炼米2.单晶硅片工艺流程米3.单晶炉展示4.产品展示5.单晶炉种类*6.单晶炉结构*7.各个部件的作用*8.单晶工艺流程*9.晶升,埚升介绍10.加热部分
第02章-半导体制造工艺-学行智库

第02章-半导体制造工艺

提纲中国斜学我术大学University of Science and Technology of China硅制造·光刻技术·氧化物生长和去除·扩散和离子注入·硅淀积和刻蚀·金属化·组装2