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半导体单晶和薄膜制造技术
4.1半导体单晶的制造单晶治炼和晶圆制造过程蒸馏与还原起始材料多晶半导体石英岩(高纯硅砂)Si/SiO2晶体生长研磨、切割、地光晶棒晶圆单晶半导体晶锭制造硅的起始材料是一种被称为石英岩的高纯...
图解芯片制作工艺流程
从“沙子”到“黄金”一一图解芯片制作工艺流程sa新浪科技ntel Activeinter第一步:制造晶棒(也就是硅锭)VirtualizabionTechnologyinteD将收集到的精度硅原料在高温下整形,采用旋转拉CNROF伸...
6-英寸重掺砷硅单晶及抛光片
Ⅲ族元素,如硼、铝等,就会形成P型导电材料。拉制单晶的电阻率值是由被选择的参杂元素的掺入量来确定的,惨杂元素的惨入量越大,单晶的电阻率越低,掺入量很大的低电阻率单晶,称为重渗硅单晶...
CH3-硅片加工倒角
切片过程的评估■定向的准确性切割出的硅片最小厚度、厚度均匀性■表面参数一平整性,弯(翘)曲度,碎裂■结构参数—损伤层(如晶格畸变),应力分布~30um洁净性(加工带来的污染)—金属、有机...
Wet-Process-Introduction
Purpose of Wet Cleaning ProcessThrough to a series of processes to make thewafers free from particles,organiccontaminations,metal contamination,surfacemicroroughness and native oxi...
硅抛光片-CMP-市场和技术现状-张志坚
张志坚,等硅抛光片(CM)市场和技术现状利润逐渐下滑。表1是单位多晶硅消耗的太阳能电池硅片、硅抛光片的产值和产业利润情况。表1太阳能电池硅切片、半导体抛光片单位多品硅消耗的产值和产业利润...